Physik Instrumente（PI）纳米定位 执行器

Physik Instrumente（PI）纳米定位 执行器

L-306·0111·00

紧凑型精密Z向位移台，13毫米行程，20牛负载容量，步进电机 ，含3米成套电缆

L-306·0111·12

紧凑型精密Z向位移台，13毫米行程，20牛负载容量，步进电机，带A/B正交信号传输的线性编码器，5纳米传感器分辨率 ，含3米成套电缆

L-306·.0131·12

紧凑型精密Z向位移台，13毫米行程，20牛负载容量，直流电机，带A/B正交信号传输的线性编码器，50纳米传感器分辨率 ，含3米成套电缆

德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。

Physik Instrumente (PI)主要产品：

线性平台和执行器

电动旋转平台和测角器

XY平台

六足/平行运动

订购信息

N-565.160

精密线性定位平台，行程为13毫米，PIOne线性编码器，分辨率为0.5纳米，驱动力为10牛，尺寸为65 × 80 ×

20毫米（宽 × 长 × 高），NEXACT压电步进驱动器

N-565.260

精密线性定位平台，行程为26毫米，PIOne线性编码器，分辨率为0.5纳米，驱动力为10牛，尺寸为65 × 110 ×

20毫米（宽 × 长 × 高），NEXACT压电步进驱动器

N-565.360

精密线性定位平台，行程为52毫米，PIOne线性编码器，分辨率为0.5纳米，驱动力为10牛，尺寸为65 × 160 ×

20毫米（宽 × 长 × 高），NEXACT压电步进驱动器

带有由电动机驱动的机械导轨的定位和运动系统是自动化过程中的核心组件。这正是PI miCos拥有其核心专业知识的地方。已经有广泛的精密轴，适用于个人应用和OEM客户。 PI miCos在Eschbach将PIMag®线性电动机，由PI开发的现代电动机（例如DC（BLDC），AC或步进电动机）集成到高精度，机械引导的
行程为80、170和250毫米
增量或式线性编码器，多种分辨率
用于实现高负载能力的交叉滚柱导轨
无铁芯或铁芯线性电机
紧凑的横截面：80毫米 × 25毫米
适应能力强
构造可实现需求的灵活适应。通过采用不同的行程、驱动器和测量系统，产品可同样适用于技术复杂、临界成本应用。XY组件也可实现

交叉滚柱导轨
对于交叉滚柱导轨，滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱导轨还具有高导向精度和高负载能力的特征。力导向滚动体保持架防止保持架蠕变。

应用领域
工业和科研。半导体或医学技术中的测量技术、光子学及精密扫描

PIMag磁力直接驱动
三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件，其可直接将驱动力传输至运动平台，且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。

无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与性磁铁发生不良作用。这样即使在低的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。

力和加速度需要在有限安装空间内实现时，使用铁芯电机。铁芯设计使磁力，确保驱动器的高热稳定性。

直接位置测量
以*的精度直接在运动平台上进行位置测量，因此非线性效应、机械作用或弹性形变不会对位置测量造成影响

Physik Instrumente （PI） 直接位置测量 传感器 实验用

PI (Physik Instrumente) P-542.PD1 用于P-54x纳米定位系统的培养皿支架，35 毫米 P-542.SH1 用于P-54x纳米定位系统的显微镜载片支架

PI (Physik Instrumente) P-611.2S XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，应变片传感器

PI (Physik Instrumente) P-611.20 XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，不带传感器

PI (Physik Instrumente) P-611.XZS XZ向纳米定位系统，100微米 × 100微米，应变片传感器

PI (Physik Instrumente) P-611.XZ0 XZ向纳米定位系统，100微米 × 100微米，不带传感器

PI (Physik Instrumente) P-612.20L XY 向纳米定位系统，130微米 × 130微米，孔径为20毫米 × 20毫米，开环

PI (Physik Instrumente) P-612.2SL XY 向纳米定位系统，100微米 × 100微米，孔径为20毫米 × 20毫米，应变片传感器

PI (Physik Instrumente) P-620.2CD 精密PIHera XY向纳米定位系统，50微米 × 50微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

PI (Physik Instrumente) P-621.2CD 精密PIHera XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

PI (Physik Instrumente) P-622.2CD 精密PIHera XY向纳米定位系统，250微米 × 250微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

PI (Physik Instrumente) P-625.2CD 精密PIHera XY向纳米定位系统，500微米 × 500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

PI (Physik Instrumente) P-628.2CD 精密PIHera XY向纳米定位系统，800微米 × 800微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

PI (Physik Instrumente) P-629.2CD 精密PIHera XY向纳米定位系统，1500微米 × 1500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

PI (Physik Instrumente) P-620.2CL 精密PIHera XY向纳米定位系统，50微米 × 50微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

PI (Physik Instrumente) P-621.2CL 精密PIHera XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

Physik Instrumente （PI）线性平台进口 N-565.360

  Physik Instrumente (PI)-P-613

  Physik Instrumente (PI)-P-630

  Physik Instrumente (PI)-P-712

  Physik Instrumente (PI)-P-725

  Physik Instrumente (PI)-S-330

  Physik Instrumente (PI)-S-335

  Physik Instrumente (PI)-S-340

  Physik Instrumente (PI)-U-523

  Physik Instrumente (PI)-V-408

  Physik Instrumente (PI)-V-741

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